Material Analysis Technology材料分析技術
XRDによる薄膜の分析例
XRDはX線回折裝置（X-ray diffractometer）です。物質を構成する原子や分子で散亂されるX線の散亂強度曲線から結晶性物質と非晶質物質の區別や、結晶性物質では回折図形から物質の同定ができます。
XRDを使って成膜速度により結晶構造が変化することを確認。XRDは応力測定専用機も所持しており、成形品の測定にも活用しています。
その他の分析裝置
SEM
走査型電子顕微鏡（Scanning electron microscope）は、電子線を試料上で走査させながら照射し、試料から発生した信號を各種検出器で検出して二次電子像として示し、表面の微小領域の形態、組成を観察する裝置です。
SEMを活用することにより、加速電圧：0.5～30kV、倍率：18×～300,000にて、観察可能です。
SEM観察
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Fatigue fracture surface
EDS WDS
- EDS(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)
試料から発生した特性 X 線を直接半導體検出器で検出し、電気信號に変えて分光分析(元素分析)する手法で、簡便で高速な分析手法です。 - WDS(Wavelength-Dispersive X-ray Spectroscopy)
試料から発生する特性 X 線を分光結晶でのブラッグ反射を利用し特定波長の X 線を分離検出することにより、分光分析(元素分析)する手法で、高エネルギー分解能により、微量元素検出が可能です。
當社では、EDSとWDSの両方を保有しており5B～92Uの元素まで分析可能です。
EDSによる迅速な分析、WDSによる詳細な成分の分析が行えます。
EDSによる分析
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Cross section of the corrosion marks 
EDS mapping -
EDS energy spectrum
